1. Physical sputtering of single-element solids -- 2. Sputtering of alloys and compounds, electron and neutron sputtering, surface topography -- 3. Characteristics of sputtered particles, technical applic
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
، Sputtering )Physics(
عنصر شناسه ای
، Solids-- Effect of radiation on
عنصر شناسه ای
، Surfaces )Physics(-- Effect of radiation on
رده بندی کنگره
شماره رده
QC
176
.
8
.
S72
.
S68
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
کد نقش
TI
عنصر شناسه اي
edited by R. Behrisch ; with contributions by H.H. Andersen ... ]et al.[