عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TA,2020,.F73,2010
TA
,
2020
,.
F73
,
2010
کتابخانه
محل استقرار
استان: آذربایجان شرقی ـ شهر: تبریز
اطلاعات محلی رکورد
نوع مدرک
English Book
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Low pressure plasmas and microstructuring technology
نام نخستين پديدآور
Gerhard Franz
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Berlin
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Springer
تاریخ نشرو بخش و غیره
2010
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xxiv, 732 p. , ill. , 24 cm.
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references (p. 669-703) and index.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
#TA2020.F73 2009
عنصر شناسه ای
Plasma (Ionized gases), Industrial applications
عنصر شناسه ای
Plasma engineering
عنصر شناسه ای
Plasma etching
عنصر شناسه ای
Ionenstrahlbearbeitung
عنصر شناسه ای
Niederdruckplasma, Hochfrequenzentladung
عنصر شناسه ای
PECVD-Verfahren, Sputtern
عنصر شناسه ای
Plasmaeatzen
عنصر شناسه ای
Plasmadiagnostik
عنصر شناسه ای
Hochfrequenzentladung., swd
عنصر شناسه ای
Ionenstrahlbearbeitung., swd
عنصر شناسه ای
Niederdruckplasma., swd
عنصر شناسه ای
PECVD-Verfahren., swd
عنصر شناسه ای
Plasmadiagnostik., swd
عنصر شناسه ای
Plasmaeatzen., swd
عنصر شناسه ای
Sputtern., swd
رده بندی کنگره
شماره رده
TA
,
2020
,.
F73
,
2010
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
عنصر شناسه اي
Franz, Gerhard,Dr. rer. nat.
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
عنصر شناسه اي
Title
