عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TA,2020,.F73,2010
TA
,
2020
,.
F73
,
2010
کتابخانه
محل استقرار
استان: أذربایجان الشرقیة ـ شهر: تبریز
English Book
Low pressure plasmas and microstructuring technology
Gerhard Franz
Berlin
Springer
2010
xxiv, 732 p. , ill. , 24 cm.
Includes bibliographical references (p. 669-703) and index.
#TA2020.F73 2009
Plasma (Ionized gases), Industrial applications
Plasma engineering
Plasma etching
Ionenstrahlbearbeitung
Niederdruckplasma, Hochfrequenzentladung
PECVD-Verfahren, Sputtern
Plasmaeatzen
Plasmadiagnostik
Hochfrequenzentladung., swd
Ionenstrahlbearbeitung., swd
Niederdruckplasma., swd
PECVD-Verfahren., swd
Plasmadiagnostik., swd
Plasmaeatzen., swd
Sputtern., swd
TA
,
2020
,.
F73
,
2010
Franz, Gerhard,Dr. rer. nat.
Title
