نمایش منو
صفحه اصلی
جستجوی پیشرفته
فهرست کتابخانه ها
انتخاب زبان
فارسی
English
العربی
عنوان
Dry etching technology for semiconductors
پدید آورنده
Nojiri, Kazuo
موضوع
، Plasma etching,، Semiconductors -- Etching
رده
TA
2020
.
N64D713
کتابخانه
کتابخانه پژوهشگاه دانشهای بنیادی
محل استقرار
استان:
تهران
ـ شهر:
تهران
تماس با کتابخانه :
22291812
-
021
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Dry etching technology for semiconductors
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Switzerland
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Springer
تاریخ نشرو بخش و غیره
c2015
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xiii, 116 p.: ill.
يادداشت کلی
متن يادداشت
"Based on translation from the Japanese language edition : Hajimete no handotai dry etching gijutsu by Kazuo Nojiri"
متن يادداشت
Includes bibliographies
متن يادداشت
ISBN: 9783319102948
یادداشتهای مربوط به عنوان و پدیدآور
متن يادداشت
Kazuo Nojiri
یادداشت های مربوط به نسخه اصلی
متن يادداشت
1
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
، Plasma etching
عنصر شناسه ای
، Semiconductors -- Etching
رده بندی کنگره
شماره رده
TA
2020
.
N64D713
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
عنصر شناسه اي
Nojiri, Kazuo
کد نقش
AU
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
TI
پیشنهاد / گزارش اشکال
×
پیشنهاد / گزارش اشکال
×
اخطار!
اطلاعات را با دقت وارد کنید
گزارش خطا
پیشنهاد