عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
QC 702.7 .P6C43
QC
702
.
7
.
P6C43
کتابخانه
محل استقرار
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Glow discharge processes : sputtering and plasma etching
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
New York
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Wiley
تاریخ نشرو بخش و غیره
c1980
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xv, 406 p.: ill., tables.
يادداشت کلی
متن يادداشت
"A Wiley-Interscience publication"
متن يادداشت
Includes bibliographies
متن يادداشت
ISBN: 047107828X
یادداشتهای مربوط به عنوان و پدیدآور
متن يادداشت
Brian Chapman
یادداشت های مربوط به نسخه اصلی
متن يادداشت
1
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
، Sputtering )Physics(
عنصر شناسه ای
، Glow discharges
عنصر شناسه ای
، Plasma etching
رده بندی کنگره
شماره رده
QC
702
.
7
.
P6C43
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
عنصر شناسه اي
Chapman, Brian N.
کد نقش
AU
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
TI
