عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
QC 702.7 .P6C43
QC
702
.
7
.
P6C43
کتابخانه
محل استقرار
Glow discharge processes : sputtering and plasma etching
New York
Wiley
c1980
xv, 406 p.: ill., tables.
"A Wiley-Interscience publication"
Includes bibliographies
ISBN: 047107828X
Brian Chapman
1
، Sputtering )Physics(
، Glow discharges
، Plasma etching
QC
702
.
7
.
P6C43
Chapman, Brian N.
AU
TI
