علوم


Principles of plasma discharges and materials processing
پدیدآورنده: Lieberman, M. A. )Michael A.(
کتابخانه: كتابخانه مركزی دانشگاه صنعتی شریف (تهران)
موضوع: ، Plasma dynamics,، Thin films-- Surfaces,، Plasma etching,، Plasma chemistry-- Industrial applications
رده :
QC
718
.
5
.
D9
.
L54
2005
