عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
QC 718.5 .D9L53 2005
QC
718
.
5
.
D9L53
2005
کتابخانه
محل استقرار
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Principles of plasma discharges and materials processing
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Hoboken, N.J.
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Wiley-Interscience
تاریخ نشرو بخش و غیره
c2005
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xxxv, 757 p.: ill.
يادداشت کلی
متن يادداشت
Bibliography: p.735-748
متن يادداشت
ISBN: 0471720011
یادداشتهای مربوط به عنوان و پدیدآور
متن يادداشت
Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenb
یادداشت های مربوط به نسخه اصلی
متن يادداشت
1
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
، Plasma dynamics
عنصر شناسه ای
Surfaces ، Thin films
عنصر شناسه ای
، Plasma etching
عنصر شناسه ای
Industrial applications ، Plasma chemistry
رده بندی کنگره
شماره رده
QC
718
.
5
.
D9L53
2005
سایر رده بندی ها
شماره رده
NO
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
عنصر شناسه اي
Lieberman, Michael A.
کد نقش
AU
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
AU Lichtenberg, Allan J.
عنصر شناسه اي
TI
