طراحی طیفسنج نوری تبدیل فوریه بر اساس فناوری میکرو سیستم
نام عام مواد
[پایاننامه]
نام نخستين پديدآور
/قیام جعفرزاده
وضعیت نشر و پخش و غیره
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: مهندسی برق
تاریخ نشرو بخش و غیره
، ۱۳۹۷
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
۶۳
یادداشتهای مربوط به نشر، بخش و غیره
متن يادداشت
چاپی - الکترونیکی
یادداشتهای مربوط به پایان نامه ها
جزئيات پايان نامه و نوع درجه آن
کارشناسی ارشد
نظم درجات
افزاردهای میکرو و نانو الکترونیک
زمان اعطا مدرک
۱۳۹۷/۰۳/۰۱
کسي که مدرک را اعطا کرده
صنعتی سهند
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
در این پایاننامه یک تداخلسنج MEMS جدید بر اساس ساختار مایکلسون ارائهشده است .این تداخلسنج با تکنولوژی Deep Reactive Ion Etching (DRIE) دارای قابلیت ساخت روی ویفر SOI را دارد .ساختار جدید مبتنی بر استفاده از یک شکافنده نور سیلیکون / هوا و دو آینه فلزی است که یکی از آینهها متحرک و دیگری ثابت میباشد که همگی بهصورت یکپارچه در یک ساختار قرار میگیرند و هیچ قسمتی خارج از ساختار مونتاژ نمیشود .با جابجایی آینه متحرک با استفاده از یک محرک، ساختار بهعنوان یک طیفسنج تبدیل فوریه موردبررسی قرارگرفته است و طولموج ۱۵۵۰ نانومتر با موفقیت مورد آزمایش قرارگرفته است و درمجموع یک روش برای ترکیب اجزای نوری مانند شکافنده نور و آینههای متحرک و ثابت در تراشه سیلیکون ارائهشده است.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
طیفسنج تبدیل فوریه
موضوع مستند نشده
تداخلسنج
موضوع مستند نشده
میکرو سیستم نوری
موضوع مستند نشده
شکافنده نور
اصطلاحهای موضوعی کنترل نشده
اصطلاح موضوعی
طیفسنج تبدیل فوریه، تداخلسنج، میکرو سیستم نوری، شکافنده نور
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )