بررسی دینامیک الکترونها و یونها در غلاف پلاسمای فرکانس رادیویی جفت شده خازنی
نام عام مواد
[پایاننامه]
نام نخستين پديدآور
/سمیرا پورعیدی
وضعیت نشر و پخش و غیره
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: علوم پایه
تاریخ نشرو بخش و غیره
، ۱۳۹۶
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
۱۰۴ ص
یادداشتهای مربوط به نشر، بخش و غیره
متن يادداشت
چاپی - الکترونیکی
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
کتابنامه در آخر پایان نامه
یادداشتهای مربوط به پایان نامه ها
جزئيات پايان نامه و نوع درجه آن
کارشناسی ارشد
نظم درجات
گرایش اتمی و مولکولی
زمان اعطا مدرک
۱۳۹۶/۰۹/۰۰
کسي که مدرک را اعطا کرده
صنعتی سهند
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
گرمایش تصادفی یک پدیده مهم در تخلیههای خازنی رادیو فرکانسی (RF)فشار پایین میباشد .در این پایان نامه مطالعه شبیه-سازی برای تخلیههای تک و دو فرکانسی بررسی میشود .در حالت تک فرکانسی، وابستگی گرمایش تصادفی به پارامترهای تخلیه، بهوسیله مقیاس بندی این پارامترها با روش شبیهسازی ذره در جعبه (PIC)بررسی میشود .مدلهای تحلیلی برای دامنه چگالی جریان متوسط_ J ۰ یا پارامتر کنترلی H با نتایج PIC سازگاری دارند .با این حال، در مواردی اثرات فیزیکی جدید مانند وارونگی میدان، تله اندازی الکترون و انعکاس یونی به چشم میخورد و نتایج شبیهسازی با مدلهای تحلیلی متفاوت میشوند .اثبات انتشار موجی با فرکانس نزدیک فرکانس الکترونی پلاسما در لبه غلاف نیز بررسی میشود که نتیجه شکست شبه خنثاییت در لبه غلاف الکترونی است .این امواج وقتی از لبه غلاف به سمت توده پلاسما انتشار مییابند، به دلیل میرایی لاندو میرا می-شوند .انتشار امواج با وارونگی میدان در طول گسترش فاز غلاف ارتباط دارد .تلهاندازی الکترون نزدیک منطقه وارونگی میدان نیز مشاهده میشود .محاسبات نشان میدهد که این امواج، امواج الکترونی پلاسما هستند .در مورد دو فرکانسی، این تحقیق نشان میدهد که مدل تحلیلی برای طیف وسیعی از پارامترها توافق خوبی دارد .با این حال، در مواردی پدیدههای فیزیکی جدید مانند وارونگی میدان، تله اندازی الکترون و انعکاس یونی ظاهر میشود .پدیده موجی قوی در طول گسترش و فروپاشی غلاف فرکانس پایین نیز بررسی میشود .مشخصههای امواج در حالت دو فرکانسی کاملا با حالت تک فرکانسی متفاوت است .تلهاندازی الکترون نزدیک منطقه وارونگی میدان چندین بار در طول یک دوره RF نیز مشاهده میشود .فرکانس این امواج، فرکانس الکترونی پلاسما میباشد
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
روش شبیه سازی ذره در جعبه PIC))
موضوع مستند نشده
دینامیک الکترون ها و یون ها در غلاف CCP
موضوع مستند نشده
گرمایش تصادفی الکترون در تخلیه های جفت شده خازنی
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
پورعیدی، سمیرا
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
فروتن، غلامرضا، استاد راهنما
مبدا اصلی
کشور
ایران
تاريخ عمليات
20230621
شماره دستیابی
شماره بازیابی
فیزیک،۹۰۱۳۹،۱۳۹۶
دسترسی و محل الکترونیکی
نام ميزبان
ینزاخ هدش تفج ییویدار سناکرف یامسلاپ فلاغ رد اهنوی و اهنورتکلا کیمانید یسررب.pdf