شابک
شابک
9780125112215
شماره کتابشناسی ملی
کد کشور
IR
شماره
EN-56861
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
انگلیسی
کشور محل نشر یا تولید
کشور محل نشر
IR
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Interlayer dielectrics for semiconductor technologies
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
/ edited by S.P. Murarka, M. Eizenberg, A.K. Sinha
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Amsterdam ; Boston
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: Elsevier/Academic Press,
تاریخ نشرو بخش و غیره
, 2003.
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xiv, 444 p. , ill. , 25 cm.
یادداشتهای مربوط به نشر، بخش و غیره
متن يادداشت
Electronic
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references (p.425-[427]) and index.
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
Semiconductor technologies are moving at such a fast pace that new materials are needed in all types of application. Manipulating the materials and their properties at atomic dimensions has become a must. This book presents the case of interlayer dielectrics materials whilst considering these challenges. Interlayer Dielectrics for Semiconductor Technologies cover the science, properties and applications of dielectrics, their preparation, patterning, reliability and characterisation, followed by the discussion of different materials including those with high dielctric constants and those useful for waveguide applications in optical communications on the chip and the package. * Brings together for the FIRST time the science and technology of interlayer deilectrics materials, in one volume * written by renowned experts in the field * Provides an up-to-date starting point in this young research field.
متن يادداشت
Dialectric Properties, Characterization of Low Dielectric Constant Materials, Compatibilities of Dielectric Film, Silicon Based Dielectrics, Low K Polymers, Chemical Vapour Deposition of CF Low K Materials, Nanoporous Dielectric Films: Fundamental Property Relations and Microelectronic Applications, High K Dielectrics Grown by Atomic Layer Disposition, Dielectric Materials in Optical Waveguide Applications, Reliability, Future Trends in Silicon Technologies.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Semiconductor wafers
موضوع مستند نشده
Dielectrics
موضوع مستند نشده
Electronic books. , local
رده بندی کنگره
شماره رده
E-BOOK
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Murarka, S. P
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Eizenberg, M. (Moshe)
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Sinha, A. K. (Ashok K.)
مستند نام اشخاص تاييد نشده
ScienceDirect (Online service)
مبدا اصلی
کشور
ایران
دسترسی و محل الکترونیکی
نام ميزبان
0125112211.pdf
شماره دسترسي
عادی
اطلاعات مختصر
عادی
تاريخ و ساعت مذاکره و دسترسي
0125112211.pdf
نوع فرمت الکترونيکي
متن
وضعیت فهرست نویسی
وضعیت فهرست نویسی
old catalog
وضعیت انتشار
فرمت انتشار
e
اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
BL
پیشوند ISBD اعمال شده است
1
اطلاعات دسترسی رکورد
سطح دسترسي
a
تكميل شده
Y
