عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
کتابخانه
محل استقرار
شماره کتابشناسی ملی
شماره
TL9sf895pj
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
انگلیسی
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Optimization of the BEOL Interconnect Stack for Advanced Semiconductor Technology Nodes
نام عام مواد
[Thesis]
نام نخستين پديدآور
Shah, Pooja Pradeep
نام ساير پديدآوران
Kahng, Andrew B
وضعیت نشر و پخش و غیره
تاریخ نشرو بخش و غیره
2015
یادداشتهای مربوط به پایان نامه ها
کسي که مدرک را اعطا کرده
Kahng, Andrew B
امتياز متن
2015
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
Particularly in advanced technology nodes, interconnects significantly affect the power, performance, area and reliability of integrated circuits. Requirements of high integration density, performance, complex patterning technology and cost implications make it imperative to determine optimal back-end-of-line (BEOL) stack dimensions for sub-22nm technology nodes. This thesis studies copper interconnect scaling strategies for high-performance IC designs. It focuses on determining optimal dimensions of the BEOL interconnect stack to achieve least possible delay while maintaining low power consumption. Degrees of freedom of the optimization technique in this work are wire aspect ratio (AR) and wire line-space duty cycle (DC).1 Our study targets the interconnect scaling strategy for 28nm through 7nm integrated device manufacturer (IDM) nodes, which have a more rigorous scaling trend than what is seen in the pure-play foundry "node" taxonomy. For example, the 14nm IDM node has a minimum Metal-1 pitch of 52nm [31], while the corresponding pitch for the pure-play foundry 14nm technology node is 64nm [39]. The studies in this thesis also indicate the advantages of using a low wire aspect ratio and a high line-space duty cycle for sub-22nm technology nodes. 1 We define AR by T/W = metal thickness / metal width, and DC using L/(L + S) = line-width / pitch.
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Lin, Chen
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Shah, Pooja Pradeep
شناسه افزوده (تنالگان)
مستند نام تنالگان تاييد نشده
UC San Diego
دسترسی و محل الکترونیکی
نام الکترونيکي
مطالعه متن کتاب وضعیت انتشار
فرمت انتشار
p
اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
[Thesis]
کد کاربرگه
276903
اطلاعات دسترسی رکورد
سطح دسترسي
a
تكميل شده
Y
