عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TJ1191.5 B976 2004
TJ1191
.
5
B976
2004
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
1402080212
شابک
9781402080210
شماره کتابشناسی ملی
شماره
b554133
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
An Introduction to Surface-Micromachining
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
by Robert W. Johnstone, M. Parameswaran.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Boston, MA
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Springer US
تاریخ نشرو بخش و غیره
2004
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
(xiii, 189 pages)
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
1. Introduction --;1.1 Why miniaturize? --;1.2 Why surface-micromachining? --;1.3 History --;References --;I Fabrication --;2. Microfabrication Processes --;3. Micromachining Technologies --;II Design --;4. Microscale Physics --;5. Mechanics --;6. Design Rules --;7. Non-Ideal Processes --;8. Design Techniques --;III Devices --;9. Electrical Components --;10. Mechanical Components --;11. Electrostatic Actuators --;12. Electro-Thermal-Compliant Actuators --;13. Raised Structures --;IV Processes --;14. PolyMUMPsTM Process --;15. SUMMiTTM Process --;16. MUSiC® Process.
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
Building up from the basic building block of microfabrication techniques, to the general surface-micromachining design, it will finish with the theory and design of concrete components.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Computer engineering.
موضوع مستند نشده
Engineering.
موضوع مستند نشده
Mechanical engineering.
رده بندی کنگره
شماره رده
TJ1191
.
5
نشانه اثر
B976
2004
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
by Robert W. Johnstone, M. Parameswaran.
نام شخص - (مسئولیت معنوی برابر )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
M Parameswaran
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Robert W Johnstone
دسترسی و محل الکترونیکی
نام الکترونيکي
مطالعه متن کتاب اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
[Book]
اطلاعات دسترسی رکورد
تكميل شده
Y
