Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
Rolf Herz.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Berlin ; New York
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Springer-Verlag
تاریخ نشرو بخش و غیره
1989
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
123 pages : 61 illustrations ; 21 cm.
فروست
عنوان فروست
IPA-IAO Forschung und Praxis, Bd. 138.
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
Inhaltsubersicht: Abkurzungen und Formelzeichen.- Einleitung.- Stand der Technik.- Analyse der Partikelquellen und der verfugbaren Partikelmesstechnik.- Anforderungen an die Prufverfahren.- Konzeption von Prufstanden fur Kontaminationsuntersuchungen.- Praktische Kontaminationsuntersuchungen.- Untersuchungsergebnisse.- Mess- und Prufrichtlinien fur Versorgungskomponenten von Prozessflussigkeiten.- Bewertung.- Zusammenfassung und Ausblick.- Literaturverzeichnis.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Contamination (Technology)
موضوع مستند نشده
Electronic apparatus and appliances -- Design and construction.
موضوع مستند نشده
Semiconductors.
رده بندی کنگره
شماره رده
TK7836
نشانه اثر
.
R654
1989
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )