Measurement technology for micro-nanometer devices /
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
Wendong Zhang, Xiujian Chou, Zongmin Ma, North University of China, Tielin Shi, Huazhong Univ. of Science and Technology, Haifei Bao, Jing Chen, Liguo Chen, Chenyang Xue, Dachao Li, Tianjin University
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
1 online resource
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
Geometry Measurements at the Micro/Nanoscale -- Dynamic Measurements at the Micro/Nanoscale -- Mechanical Characteristics Measurements -- SPM for MEMS/NEMS Measurements -- MEMS Online Measurements -- Typical Micro/Nanoscale Device Measurements
بدون عنوان
0
ویراست دیگر از اثر در قالب دیگر رسانه
عنوان
Measurement technology for micro-nanometer devices.
شماره استاندارد بين المللي کتاب و موسيقي
9781118717967
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Microelectromechanical systems-- Testing.
موضوع مستند نشده
Microtechnology-- Measurement.
موضوع مستند نشده
Nanotechnology-- Measurement.
موضوع مستند نشده
Physical measurements.
مقوله موضوعی
موضوع مستند نشده
TEC-- 040000
رده بندی ديویی
شماره
681/
.
2
ويراست
23
رده بندی کنگره
شماره رده
TA418
.
9
.
N35
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )