عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
0819483249
شابک
9780819483249
شابک
9780819483256
شماره کتابشناسی ملی
شماره
b397691
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Principles of lithography /
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
Harry J. Levinson.
وضعیت ویراست
وضعيت ويراست
3rd ed.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Bellingham, Wash. :
نام ناشر، پخش کننده و غيره
SPIE Press,
تاریخ نشرو بخش و غیره
c2010.
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xiii, 494 p. :
ساير جزييات
ill. (some col.) ;
ابعاد
26 cm.
فروست
عنوان فروست
SPIE Press monograph ;
مشخصه جلد
PM 198
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index.
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
Preface to the third edition -- Preface to the second edition -- Preface -- Overview of lithography -- Optical pattern formation -- Photoresists -- Modeling and thin-film effects -- Wafer steppers -- Overlay -- Masks and reticles -- Confronting the diffraction limit -- Metrology -- Immersion lithography and the limits of optical lithography -- Lithography costs -- Extreme ultraviolet lithography -- Alternative lithography techniques -- Appendix A: Coherence.
بدون عنوان
0
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
The publication of Principles of Lithography, Third Edition just five years after the previous edition is evidence of the quickly changing and exciting nature of lithography as applied to the production of integrated circuits and other micro- and nanoscale devices. This text is intended to serve as an introduction to the science of microlithography, but also covers several subjects in depth, making it useful to the experienced lithographer as well. Topics directly related to manufacturing tools are addressed, including overlay, the stages of exposure, tools, and light sources. This updated edition reflects recent advances in technology, including the shift of immersion lithography from development into volume manufacturing, and the movement of EUV lithography from the lab to development pilot lines. New references and homework problems are included. It is expected that the reader of this book will have a foundation in basic physics and chemistry. No topics will require knowledge of mathematics beyond elementary calculus.
عنوان اصلی به زبان دیگر
عنوان اصلي به زبان ديگر
Lithography
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Integrated circuits-- Design and construction.
موضوع مستند نشده
Microlithography.
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Levinson, Harry J.
نام تنالگان _ (مسئولیت معنوی برابر)
مستند نام تنالگان تاييد نشده
Society of Photo-optical Instrumentation Engineers.
مبدا اصلی
تاريخ عمليات
20110504130245.0
دسترسی و محل الکترونیکی
نام الکترونيکي
مطالعه متن کتاب اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
[Book]
اطلاعات دسترسی رکورد
تكميل شده
Y
