عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7871.85 .I5834 2002
TK
7871
.
85
.
I5834
2002
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شرايط تهيه و بها
خریداری
شابک
0965157776 0965157784
شماره کتابشناسی ملی
شماره
02BL0000000010519
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
انگلیسی
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
2002 7th International Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage
نام نخستين پديدآور
Terence Hook, Koji Eriguchi, and Calvin T. Gabriel, editors ; technical co-sponsors, AVS, IEEE/Electron Devices Society, Japanese Society of Applied Physics
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Santa Clara, California
نام ناشر، پخش کننده و غيره
AVS
تاریخ نشرو بخش و غیره
,c2002
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
]6[, i, 177 p. ill. 28 cm.
یادداشتهای مربوط به عنوان و پدیدآور
متن يادداشت
June 5-7, 2002, Maui, Hawaii, USA
یادداشتهای مربوط به بسته بندی و دسترس بودن اثر
متن يادداشت
غیرمرجع
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographic references and author index.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
Semiconductor wafers- Congresses
عنصر شناسه ای
Semiconductors- Effect of radiation on- Congresses
عنصر شناسه ای
Plasma radiation- Congresses
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
نشانه اثر
7871
.
85
شماره رکورد رده بندي
.
I5834
شماره رکورد غير از شماره رده بندي
2002
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
عنصر شناسه اي
International Symposium on Plasma Process-Induced Damage)7th :2002 :Maui, Hawaii(
نام شخص - (مسئولیت معنوی برابر )
عنصر شناسه اي
Some previous Symposia entitled: International Symposium on Plasma Induced-Damage.
عنصر شناسه اي
"P?p2?sID"--Cover.
عنصر شناسه اي
"IEEE Catalog Number )softbound( 02TH8582 ; IEEE Catalog Number )CD-ROM( 02TH8582C"--verso of T.p.
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
کد نقش
AU
کد نقش
AU
کد نقش
AU
کد نقش
AU
کد نقش
AU
کد نقش
AU
عنصر شناسه اي
Hook, Terence.
عنصر شناسه اي
Eriguchi, Koji.
عنصر شناسه اي
Gabriel, Calvin T.
عنصر شناسه اي
American Vacuum Society.
عنصر شناسه اي
IEEE Electron Devices Society.
عنصر شناسه اي
Oyo Butsuri Gakkai.
