شناسگر استاندارد دیگر
شماره استاندارد
10890
عنوان و نام پديدآور
نام نخستين پديدآور
Elliott, David J.
عنوان اصلي
Microlithography; Process technology for IC Fabrication
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
New York
نام ناشر، پخش کننده و غيره
McGraw-Hill
تاریخ نشرو بخش و غیره
c1986
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xix, 378p.:ill
يادداشت کلی
متن يادداشت
Includes bibliographies and index
یادداشتهای مربوط به عنوان و پدیدآور
متن يادداشت
David J. Elliott
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
Very large scale integration - Design and construction ، Integrated circuits
عنصر شناسه ای
، Microlithography
عنصر شناسه ای
، Photoresists
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
7874
.
E495
1986
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
کد نقش
AU
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
TI
شماره دستیابی
پسوند شماره بازيابي
CL
