عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7874 .58 .B69 2006
TK
7874
.
58
.
B69
2006
کتابخانه
محل استقرار
شناسگر استاندارد دیگر
شماره استاندارد
141649
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
زمستا‌ن۵۸
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
English
عنوان و نام پديدآور
نام عام مواد
)50(
نام نخستين پديدآور
Bowen, D. Keith )David Keith(
عنوان اصلي به قلم نويسنده ديگر
0491-
عنوان اصلي
X-ray metrology in semiconductor manufacturing
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Boca Raton
نام ناشر، پخش کننده و غيره
CRC/Taylor & Francis
تاریخ نشرو بخش و غیره
2006
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
279 p.: ill.; 25 cm.
يادداشت کلی
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
، Semiconductors-- Design and construction Quality control
عنصر شناسه ای
، Integrated circuits-- Measurement
عنصر شناسه ای
، Semiconductor wafers-- Inspection
عنصر شناسه ای
، X-rays-- Diffraction
عنصر شناسه ای
، Fluroscopy
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
7874
.
58
.
B69
2006
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
کد نقش
AU
عنصر شناسه اي
D. Keith Bowen, Brian K. Tanner
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
AU (htieK nairB).K .B ,rennaT
عنصر شناسه اي
TI
شماره دستیابی
نحوه قرار گرفتن مدرك روي قفسه
05
