Ion implantation : equipment and techniques : proceedings of the Fourth International Conference, Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, September 13-17, 1982
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Berlin, New York
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Springer-Verlag
تاریخ نشرو بخش و غیره
1983
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
x, 556 p. : ill. ; 24 cm
فروست
عنوان فروست
Springer series in electrophysics, v. 11
يادداشت کلی
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
، Ion implantation-- Congresses
عنصر شناسه ای
، Semiconductor doping-- Congresses
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
7871
.
85
.
I5864
1983
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
کد نقش
TI
عنصر شناسه اي
editors, H. Ryssel and H. Glawischnig
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
AU renieH ,lessyR 1941-
عنصر شناسه اي
AU .H ,ginhcsiwalG 1939-
عنصر شناسه اي
CO International Conference on Ion Implantation: Equipment and Techniques) 4th:2891: Berchtesgaden, Germany(