ما بقی فیلدها | ،،،،،،،1،1،8،0841217017،54527،01/04/1381،000 | |||||||||
شناسگر رکورد | 54527 | |||||||||
شناسگر ويراست | #32394 | |||||||||
اطلاعات محلی رکورد | #BL | |||||||||
زبان اثر | انگلیسی | |||||||||
عنوان و نام پديدآور | #Polymers in microlithography #Elsa Reichmanis, editor, Scott A. MacDonald, editor, Takao Iwayanagi, editor | |||||||||
وضعیت نشر و پخش و غیره | Washington, DC American Chemical Society #1989 | |||||||||
مشخصات ظاهری | #xii, 449 p.: ill., 24 cm | |||||||||
فروست | ACS symposium series, 0097-6156 , 412 | |||||||||
یادداشتهای کلی مربوط به اطلاعات توصیفی | #: materials and processes | |||||||||
یادداشتهای مربوط به کتابنامه،واژه نامه و نمایه های داخل اثر | #Includes bibliographical references | |||||||||
یادداشتهای مربوط به مندرجات | "Developed from a symposium sponsored by the Division of Polymeric Materials: Science and Engineering at the 197th national meeting of the American Chemical Society, Dallas, Texas, April 9-14, 1989." | |||||||||
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام) | Polymers- Congresses Photoresists- Congresses | |||||||||
رده بندی ديویی |
| |||||||||
رده بندی کنگره |
| |||||||||
سایر رده بندی ها | #7871.15 | |||||||||
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده | AU،Reichmanis, Elsa, 1953- |