عنوان

مطالعه رفتارخزش درمیکروسنسورهای فشارپیزوالکتریک دمابالا

Number

‭۱۱۰۵۴پ‬

.Language of Text, Soundtrack etc

per

Title Proper

مطالعه رفتارخزش درمیکروسنسورهای فشارپیزوالکتریک دمابالا

First Statement of Responsibility

/علیرضا سفری

Name of Publisher, Distributor, etc.

: دانشکده مهندسی مکانیک

Specific Material Designation and Extent of Item

‮‭۷۶‬ص‬

Text of Note

چاپی

Dissertation or thesis details and type of degree

کارشناسی ارشد

Discipline of degree

در رشته مهندسی مکانیک طراحی کاربردی

Date of degree

‮‭۱۳۹۲/۰۶/۲۵‬

Body granting the degree

تبریز

Text of Note

یکی از انواع میکروسنسورهایی که در صنایع مختلف زیاد استفاده می‌شود میکروسنسور فشار می‌باشد .در میکروسنسورهای فشار از روشهای مختلفی برای اندازه گیری فشار استفاده می شود که یکی از این روشها استفاده از خاصیت پیزوالکتریک می باشد که در برخی از مواد مشاهده می شود . سنسور فشار میکروالکترو مکانیکی سیستمی یکپارچه می باشد که برای اندازه گیری فشار از تغییر شکل دیافراگم سیلیکونی بهره می برد . تغییر شکل دیافراگم سنسور به کمک المانهای پیزوالکتریک که بر روی دیافراگم جایگذاری شده است به سیگنال الکتریکی تبدیل می شود که به کمک اندازه گیری این سیگنال فشار اعمالی بر روی دیافراگم اندازه گیری می شود . یکی از کاربردهای مهم این میکروسنسورها بکارگیری آنها در شرایط با دمای بالا می باشد . برای مثال اندازه گیری فشارگازهای داغ در موتورهای توربینی یا در توربینهای گازی راکتورها ی مبدل گرما . در این شرایط که دمای محیط بالا می باشد پس از مدت طولانی در دیافراگم میکروسنسور یک خزش به وجود می آید .در این پایان نامه ابتدا خزش دریک دیافراگم سیلیکونی را با روش تحلیلی محاسبه کرده وسپس حل را به کمک نرم افزار المان محدود انجام می دهیم

Text of Note

One of the types microsensors that can be used in different industries is pressure microsensor. In the pressure microsensors of different methods used to measure the pressure that one of these methods is the use of the piezoelectric property, which can be observed in some of the material. Microelectromechanical pressure sensors is system integrated for measuring pressure used of change shape silicone diaphragm. Change the shape of the diaphragm sensors with the help of piezoelectric elements on which the diaphragm is placed to convert the electrical signal to help measure this signal acts on the diaphragm pressure gauges. One of the most important applications of this microsensors to use them in situations with high temperature. For example, measuring pressure hot gases in turbine engine or the heat exchanger in gas turbine reactors. In these conditions the ambient temperature is high after a some time a creep occurs in the diaphragm microsensor.in this thesis first calculated creep in silicon diaphragm with analytical method then solution with finite element software do

سفری، علیرضا

قنبری، احمد، استاد راهنما

وکیلی تهامی، فرید، استاد مشاور

Public note

سیاه و سفید

نمایه‌سازی قبلی