امکان سنجی لایه نشانی کربن الماس گونه به روش پلاسمای تخلیه سد دی الکتریک
General Material Designation
[پایاننامه]
First Statement of Responsibility
/فری ناز دنیاپسند کجاباد
.PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC
Name of Publisher, Distributor, etc.
: علوم پایه
Date of Publication, Distribution, etc.
، ۱۳۹۶
PHYSICAL DESCRIPTION
Specific Material Designation and Extent of Item
۵۸ ص
NOTES PERTAINING TO PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC.
Text of Note
چاپی - الکترونیکی
INTERNAL BIBLIOGRAPHIES/INDEXES NOTE
Text of Note
کتابنامه در آخر پایان نامه
DISSERTATION (THESIS) NOTE
Dissertation or thesis details and type of degree
کارشناسی ارشد
Discipline of degree
اتمی و مولکولی - پلاسما
Date of degree
۱۳۹۶/۰۶/۰۰
Body granting the degree
صنعتی سهند
SUMMARY OR ABSTRACT
Text of Note
فیلم های کربن الماس گونه ( (DLC به خاطر ویژگی های جذابی که دارد ، در طول دو دهه گذشته به طور گسترده ای خواص آن مورد مطالعه قرار گرفته است . تخلیه های سد دی الکتریک در حضور حداقل یک لایه عایق به عنوان دی الکتریک در تماس با تخلیه بین دو الکترود صفحه ای یا استوانه ای که به یک منبع تغذیه پالسی وصل است و این دستگاه در فشار اتمسفر کار می کند ، توصیف می شوند . لایه های دی الکتریک به عنوان موانع جریان بالا عمل می کنند و در نتیجه مانع گذار تخلیه به حالت آرک می شوند . در این تحقیق فیلم DLC توسط دستگاه پلاسمای سد دی الکتریک روی زیرلایه ای از جنس سیلیکون ، لایه نشانی شده است . نمونه های تهیه شده در این تحقیق به وسیله سیستم های آنالیزی چون ATR ، SEM و EDX مورد مطالعه قرار گرفتند . نتایج حاصل از نمودار طیف های ATR به طور کامل بررسی شد . طیف های حاصل از EDX و تصاویر به دست آمده از SEM امکان سنجی لایه نشانی کربن الماس گونه به روش پلاسمای تخلیه سد دی الکتریک را تایید می کنند