عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7874 .E495
TK
7874
.
E495
کتابخانه
محل استقرار
شماره کتابشناسی ملی
شماره
02BL0000000003591
شماره
02BL0000000003191
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
انگلیسی
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
انگلیسی
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
microlithography:process Tecnology for Ic fabrication
نام نخستين پديدآور
davidj.Elliott
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
new york
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Mc Graw hill
تاریخ نشرو بخش و غیره
1986
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xix,378p.:fig,tab
ساير جزييات
, 3191,3591 , 2-2
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
integrated circuits-very laryscall intecgrution desing and construction
عنصر شناسه ای
microlitho graphy
عنصر شناسه ای
photoresists
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
نشانه اثر
7874
شماره رکورد رده بندي
.
E495
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
عنصر شناسه اي
Elliott,Davidj
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
کد نقش
AU
عنصر شناسه اي
title
