طراحی و شبیهسازی یک کلید میکروالکترومکانیکی برای کاربردهای فرکانس بالا و مایکروویو
[پایاننامه]
/پریسا محمودی
دانشگاه صنعتی سهند
، ۱۳۸۸
۱۰۵ ص۰
چاپی - الکترونیکی
کتابنامه در آخر پایان نامه
کارشناسی ارشد
مهندسی برق
دانشگاه صنعتی سهند
تامین ولتاژ تغذیهی بالا یکی از مهمترین چالشهای مربوط به طراحی سوئیچهای میکروالکترومکانیکی فرکانس بالا(RF MEMS) با تحریک الکترواستاتیکی است، بطوریکه کاهش این ولتاژ به یکی از مسائل مهم برای طراحان تبدیل شده است۰ به این منظور میتوان ضریب سختی فنر ساختار را کاهش داد که خود با مشکلات مربوط به قابلیت اطمینان سوئیچ از قبیل چسبندگی اجزای آن همراه است۰ کاهش فاصلهی هوایی بین صفحات کنتاکت راه حل دیگری است۰ این روش با مشکلات مربوط به فرآیندساخت محدود میشود و محدودهی فرکانسی عملکرد سوئیچ را نیز کاهش میدهد۰ افزایش سطح صفحات تحریک الکترواستاتیکی نیز سبب کاهش ولتاژ تحریک میشود۰ با این روش سرعت کلیدزنی کاهش مییابد۰ از طرف دیگر نیاز به مدارهای افزایندهی ولتاژ تغذیهی بالای سوئیچ هامشکل بزرگ دیگری است۰ سوئیچهای MEMS با تحریک حرارتی نمونهی دیگری از سوئیچهای میکرومکانیکی هستند ولی مصرف توان آنها بسیار زیاد است۰ در این پروژه یک سوئیچ باولتاژ تحریک پایین طراحی شده است که از ترکیب روشهای تحریک الکترواستاتیکی و حرارتی استفاده میکند و قابلیت رفع مشکلات فوقالذکر را تا حد قابل ملاحظهای دارد۰ این سوئیچ میتواند بدون نیاز به مدارهای افزایندهی ولتاژ با مدارات CMOS مجتمع شود۰ مصرف توان حرارتی آن از نمونههایی که منحصرا" از روش تحریک حرارتی استفاده میکنند، بسیار کمتر است۰ زمان کلیدزنی حدود ۷۰ و ماکزیمم دمای محرک حرارتی آن کمتر از ۱۵۰ درجه سانتیگراد است که نمیتواند آسیبی را در مدت طولانی از عملکرد سوئیچینگ ایجاد کند۰
RF MEMS
میکروسوئیچ
تحریک الکترو- حرارتی
مدار افزایندهی ولتاژ
ولتاژ کششی آنی
محمودی، پریسا
بدری قویفکر، حبیب، استاد راهنما
نجفی اقدم، اسماعیل، استاد مشاور
ایران
20230805
برق،۱۰۰۴۲،۱۳۸۸
ویوورکیام و لااب سناکرف یاهدربراک یارب یکیناکمورتکلاورکیم دیلک کی یزاسهیبش و یحارط.pdf