#رشد سریع صنعت نیمهصهادیصها در سه دهه گذشته تا حد زیادی منجر به حرکت به سوی مقیاسص بندیهای کوچک شده است .این روند مقیاسصبندی باعث شده اختلافصهایی ناصخواسته پدید آید که به این اختلافصها، اختلافصپذیری میصگویند .اختلافصپذیری در نتیجه یک اختلاف برجسته در روند ساخت کارخانهصای در ساخت پیچیده سیستمصها روی تراشه میصباشد .اختلافصپذیری از دو منبع سرچشمه میصگیرد1 :- فیزیکی( فرایندی و یا در حین ساخت2 )-محیطی( گذرا یا پویا .)اختلافصپذیری به سه دسته تقسیم میصشود :ویفر به ویفر ، تکه به تکه و داخل تکه . در این پایانصنامه سعی بر این است یکی از چالشصهای اساسی که در فرآیند تکنولوژی نانومتری در حال افزایش هستند معرفی شده و تکنیکصهای کلیدی موجود برای مقابله با این چالشها بازگو شود و مسیرصهای جدیدی برای تحقیقات آینده در زمینه طراحی فیزیکی برای قابلیت تولید و اطمینان فراهم گردد.