1. Materials & process integration for MEMS /edited by Francis E.H. Tay.
پدیدآورنده :
کتابخانه: کتابخانه پرديس 2 دانشکدههای فنی دانشگاه تهران (تهران)
موضوع : Microelectromechanical systems.
رده :
TK
7875
.
M373
2002