عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TA 2020 .H37 1990
TA
2020
.
H37
1990
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
0815512201
شماره کتابشناسی ملی
کد کشور
IR
شماره
10804
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
انگلیسی
کشور محل نشر یا تولید
کشور محل نشر
IR
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Handbook of plasma processing technology
نام عام مواد
[Book]
ساير اطلاعات عنواني
: fundamentals, etching, deposition, and surface interactions
نام نخستين پديدآور
/ edited by Stephen M. Rossnagel, Jerome J. Cuomo, William D. Westwood
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Park Ridge, N.J., U.S.A.
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: Noyes Publications
تاریخ نشرو بخش و غیره
, 1990
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xxiii, 523 p.
ساير جزييات
: ill.
ابعاد
; 25 cm
فروست
عنوان فروست
Materials science and process technology series
يادداشت کلی
متن يادداشت
English
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Plasma engineering
موضوع مستند نشده
Semiconductors - Etching
موضوع مستند نشده
Plasma etching
رده بندی کنگره
شماره رده
TA
2020
نشانه اثر
.
H37
1990
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Cuomo, J. J.
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Rossnagel, Stephen M.
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Westwood, William D.(William Dickson), 1937-
مبدا اصلی
کشور
Iran
سازمان
University of Tehran. Library of Technical Camp 2
وضعیت فهرست نویسی
وضعیت فهرست نویسی
Old cataloging
وضعیت انتشار
فرمت انتشار
p
اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
BL
پیشوند ISBD اعمال شده است
1
اطلاعات دسترسی رکورد
تكميل شده
Y
