عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK,7871,.S77,1997
TK
,
7871
,.
S77
,
1997
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شرايط تهيه و بها
alk. paper)
شابک
0471138274 (cloth
شماره کتابشناسی ملی
کد کشور
IR
شماره
ebook37134
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
انگلیسی
کشور محل نشر یا تولید
کشور محل نشر
IR
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Chemical mechanical planarization of microelectronic materials
نام عام مواد
[Electronic Resource]
نام نخستين پديدآور
/ Joseph M. Steigerwald, Shyam P. Murarka, Ronald J. Gutmann
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
New York
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: J. Wiley,
تاریخ نشرو بخش و غیره
, c1997.
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xiii, 324 p.
ساير جزييات
: ill. ; 24 cm.
یادداشتهای مربوط به نشر، بخش و غیره
متن يادداشت
e
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Microelectronics--Materials
موضوع مستند نشده
Grinding and polishing.
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
,
7871
,.
S77
,
1997
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Steigerwald, Joseph M
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Murarka, S. P
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Gutmann, Ronald J
مبدا اصلی
کشور
ایران
شماره دستیابی
شماره بازیابی
TK,7871,.S77,1997
دسترسی و محل الکترونیکی
تاريخ و ساعت مذاکره و دسترسي
9780471138273.pdf
نوع فرمت الکترونيکي
0
وضعیت فهرست نویسی
وضعیت فهرست نویسی
old catalog
وضعیت انتشار
فرمت انتشار
e
اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
BL
پیشوند ISBD اعمال شده است
1
اطلاعات دسترسی رکورد
سطح دسترسي
a
تكميل شده
Y
