عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
QC,612,.S4,W5,v.63,2000
QC
,
612
,.
S4
,
W5
,
v
.
63
,
2000
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
0127521720
شماره کتابشناسی ملی
کد کشور
IR
شماره
ebook1495
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
انگلیسی
کشور محل نشر یا تولید
کشور محل نشر
IR
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Chemical mechanical polishing in silicon processing
نام عام مواد
[Electronic Resource]
نام نخستين پديدآور
/ Volume editors Shin Hwa Li, Robert O. Mille
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
San Diego, CA
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: Academic Press,
تاریخ نشرو بخش و غیره
, c2000.
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xv, 307 p.
ساير جزييات
: ill. ; 24 cm.
فروست
عنوان فروست
(Semiconductors and semimetalsv. 63)
یادداشتهای مربوط به نشر، بخش و غیره
متن يادداشت
e
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Grinding and polishing.
موضوع مستند نشده
Silicon.
رده بندی کنگره
شماره رده
QC
,
612
,.
S4
,
W5
,
v
.
63
,
2000
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Li, Shin Hwa
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Miller, Robert O.� 1947
مبدا اصلی
کشور
ایران
شماره دستیابی
شماره بازیابی
QC,612,.S4,W5,v.63,2000
دسترسی و محل الکترونیکی
تاريخ و ساعت مذاکره و دسترسي
0127521720.pdf
نوع فرمت الکترونيکي
0
وضعیت فهرست نویسی
وضعیت فهرست نویسی
old catalog
وضعیت انتشار
فرمت انتشار
e
اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
BL
پیشوند ISBD اعمال شده است
1
اطلاعات دسترسی رکورد
سطح دسترسي
a
تكميل شده
Y
