عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7875 .M373
TK
7875
.
M373
کتابخانه
محل استقرار
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Materials & process integration for MEMS
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Boston
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Kluwer Academic Publishers
تاریخ نشرو بخش و غیره
c2002
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xix, 299 p. : ill. ; 25 cm.
فروست
ساير اطلاعات عنواني
Microsystems ;v. 9
يادداشت کلی
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index
یادداشتهای مربوط به عنوان و پدیدآور
متن يادداشت
edited by Francis E.H. Tay
یادداشت های مربوط به نسخه اصلی
متن يادداشت
1
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
، Microelectromechanical systems
رده بندی ديویی
شماره
621
.
381
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
7875
.
M373
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
کد نقش
TI
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
AU Tay, Francis E. H
عنصر شناسه اي
SE
عنصر شناسه اي
SE Microsystems )Series( ;
