عنوان

شبیه سازی سیستم کند و پاش پلاسمایی با استفاده از روش آماری

شماره

‭۶۶۴۱پ‬

زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن

per

عنوان اصلي

شبیه سازی سیستم کند و پاش پلاسمایی با استفاده از روش آماری

نام نخستين پديدآور

/سیروس خرم

نام ناشر، پخش کننده و غيره

: فیزیک

نام خاص و کميت اثر

‮‭۱۲۳‬ص‬

متن يادداشت

چاپی

جزئيات پايان نامه و نوع درجه آن

دکترای تخصصی

نظم درجات

فیزیک پلاسما

زمان اعطا مدرک

‮‭۱۳۹۰/۰۵/۲۵‬

کسي که مدرک را اعطا کرده

تبریز

متن يادداشت

در این رساله حرکت اتمهای کنده شد مس و آلومینیوم در چند سیستم پلاسمایی با استفاده از روش شبیه سازی مونت کارلو مورد بررسی قرار گرفت .مقالات زیادی در این مورد نوشته شده است که هریک از آنها از روشها و پتانسیلهای بین اتمی مختلف استفاده کرده اند .در این گزارشها چگالی اتمهای کنده شده کمتر از مقدار تجربی بدست آمده است .همچنین سرعتهای بدست آمده از این شبیه سازیها بیشتر از مقادیر تجربی بوده اند .لذا با توجه به این نتایج، با بکارگیری دو مدل برخورد شبیه سازی انجام گرفت .روش اول، مدل برخورد دو کر سخت بود .در این مدل معمولا زاوی‍ پراکندگی اتمها را در چارچوب مرکز جرم بصورت همسانگرد و تصادفی انتخاب می کنند .لذا این روش را مدل زاوی‍ پراکندگی با احتمال تصادفی همسانگرد ‮‭(isotropic random scattering angle)‬ نامگذاری گردید که به اختصار با ‮‭IRSA‬ نشان داده شد .برای روش دوم، مدل جدیدی معرفی گردید .در این مدل، دو اتم برخورد کننده) اتم کنده شده و اتم گاز کاری(، مانند دو نقط مادی با هم برخورد می کردند .این مدل بنام مدل برخورد مرکز به مرکز ‮‭(center to center collision)‬ نامیده شد که به اختصار با ‮‭CCC‬ نشان داده شد .در کلی‍ شبیه سازیها، سطح مقطع برخورد اتمها مقدار بدست آمده از نتایج تجربی بکار گرفته شد .سه عامل چگالی و سرعت اتمهای کنده شده و ضریب پخش آنها در داخل اتاقک خلا با نتایج دو مدل ‮‭CCC‬ و ‮‭IRSA‬ و با نتایج ‮‭۶‬ نوع آزمایش تجربی مختلف مورد مقایسه قرار گرفتند .نتایج نشان دادند که مدل ‮‭CCC‬ در هر سه عامل فوق، با نتایج تجربی تطابق خوبی دارند .

متن يادداشت

In this thesis, the motion of sputtered copper and aluminum atoms are simulated in some plasma units via Monte Carlo simulation method. There are some papers concerning this subject which have used different potentials and simulation methods. In these papers, the densities of sputtered atoms are found less than the experimental results. Also, the obtained velocities in these simulations were greater than the experimental ones. So, considering these disagreements, we used two different models in our simulation. The first method is the hard sphere collision method. Usually, in this method, the scattering angles of two colliding atoms (sputtered and background atoms) are assumed isotropic in the center of mass frame. So, this method is called isotropic random scattering angle model (IRSA). In this thesis, a new method is introduced. In this method, two atoms collide such as two material points. This model is called center to center collision (CCC) model. In all simulations, the cross sections used for the atomic collisions are taken from the existing experimental data. Three parameters, i.e., density, velocity and diffusion coefficients of sputtered atoms obtained from both models are compared with the six sets of experimental results. These comparisons show that the CCC model is in better agreement with the experimental results than the others. In addition to this, the diffusion coefficients of sputtered copper atoms are also calculated using the stochastic method in three pressures. Using the obtained Fokker Planck coefficients, the Langevin equations are determined for the motion of sputtered copper atoms at three different pressures.

مستند نام اشخاص تاييد نشده

خرم، سیروس

مستند نام اشخاص تاييد نشده

سبحانیان، صمد، استادراهنما

مستند نام اشخاص تاييد نشده

صادقی، نادر، استادمشاور

يادداشت عمومي

سیاه و سفید

وضعیت فهرست نویسی

نمایه‌سازی قبلی