عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK7872 .M3E987 2009
TK7872
.
M3E987
2009
کتابخانه
محل استقرار
استان: آذربایجان شرقی ـ شهر: تبریز
شابک
شابک
9780071549189
شماره کتابشناسی ملی
کد کشور
IR
شماره
90-714
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
انگلیسی
کشور محل نشر یا تولید
کشور محل نشر
IR
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Extreme ultraviolet lithography
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
/ [edited by] Banqiu Wu, Ajay Kumar
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
New York
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: McGraw-Hill,
تاریخ نشرو بخش و غیره
, c2009.
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xiv, 465 p.
ساير جزييات
: ill.
ابعاد
; 24 cm.
يادداشت کلی
متن يادداشت
Language: انگلیسی
یادداشتهای مربوط به نشر، بخش و غیره
متن يادداشت
Print
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Extreme ultraviolet lithography
موضوع مستند نشده
Integrated circuits, Masks
موضوع مستند نشده
Integrated circuits, Design and construction
رده بندی کنگره
شماره رده
TK7872
نشانه اثر
.
M3E987
2009
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Wu, Banqiu
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Kumar, Ajay,1962-
مبدا اصلی
کشور
ایران
وضعیت فهرست نویسی
وضعیت فهرست نویسی
old catalog
وضعیت انتشار
فرمت انتشار
p
اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
BL
پیشوند ISBD اعمال شده است
1
اطلاعات دسترسی رکورد
سطح دسترسي
a
تكميل شده
Y
