شماره کتابشناسی ملی
کد کشور
IR
شماره
۱۹۳۷ پ
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
فارسی
کشور محل نشر یا تولید
کشور محل نشر
IR
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
شبیه‌سازی عددی اچینگ پلاسمایی نانو مقیاس با استفاده از یک راکتور پلاسمای جفت شده القایی
نام عام مواد
[پایان‌نامه]
نام نخستين پديدآور
/جمال محمدی
وضعیت نشر و پخش و غیره
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: علوم پایه
تاریخ نشرو بخش و غیره
، ۱۳۹۳
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
۱۲۸ پ
یادداشتهای مربوط به نشر، بخش و غیره
متن يادداشت
چاپی - الکترونیکی
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
کتابنامه در آخر پایان نامه
یادداشتهای مربوط به پایان نامه ها
جزئيات پايان نامه و نوع درجه آن
کارشناسی ارشد
نظم درجات
فیزیک- گرایش اتمی و مولکولی (زمینه پلاسما)
زمان اعطا مدرک
۱۳۹۳/۰۶/۰۰
کسي که مدرک را اعطا کرده
صنعتی سهند
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
کندوپاش پلاسمایی رادیو فرکانسی بخاطر خاصیت ناهمسانگردی آن از اهمیت بسیاری در ساخت مدارهای مجتمع برخوردار است .برای بدست آوردن قدرت تفکیک بالا در فرآوری پلاسمایی، فهم فیزیک و شیمی تخلیه الکتریکی امری ضروری است .چگالی یون‌ها و الکترون‌ها و همچنین دمای الکترونی، نرخ تولید رادیکال‌ها که مسئول کندوپاش شیمیایی هستند را تعیین می‌کنند .این مسئله در تکنولوژی‌های پلاسمایی همانند ساخت مدارهای مجتمع مینیاتوری و نشاندن لایه‌های نازک یا تولید طرح‌های کندوپاش ظریف از اهمیت زیادی برخوردار است .محدودیت‌های مربوط به تخلیه‌های خازنی rf باعث توسعه نسل جدیدی از راکتورهای پلاسمایی شده است، که راکتورهای کوپل شده‌ی القایی نامیده می‌شوند .مشخصه اصلی این راکتورهای کوپل شده‌ی القایی فشار پایین و چگالی بالای پلاسمای تولید شده در آن است .در این پایان‌نامه راکتور پلاسمایی ICP با استفاده از شبیه‌سازی کامپیوتری مورد مطالعه قرار گرفته و شرایط لازم برای بدست آوردن شار یونی بهینه به منظور ایجاد کندوپاش نانومتری با قدرت تفکیک بالا، ارزیابی می‌شوند .عوامل مؤثر بر دینامیک راکتور همانند عوامل خارجی، شامل توان منبعrf ، آهنگ گازهای ورودی، و هندسه راکتور و عوامل داخلی همانند اندرکنش‌های ذرات پلاسما با هم‌دیگر، دمای الکترونی و نرخ یونیزاسیون مورد ارزیابی قرار خواهند گرفت
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
کندوپاش
موضوع مستند نشده
راکتور پلاسما
موضوع مستند نشده
پلاسمای کوپل شده القایی ICP
موضوع مستند نشده
پردازش ویفر
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
محمدی، جمال
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
فروتن، غلامرضا، استاد راهنما
مبدا اصلی
کشور
ایران
تاريخ عمليات
20230621
شماره دستیابی
شماره بازیابی
فیزیک،۹۰۰۹۳،۱۳۹۳
دسترسی و محل الکترونیکی
نام ميزبان
ی‌یاقلا ه‌دش ت‌فج ی‌امسلاپ روتکار ک‌ی زا ه‌دافتسا اب س‌ایقم ونان ی‌یامسلاپ گ‌نیچا ی‌ددع ی‌زاسه‌یبش.pdf
شماره دسترسي
عادی
اطلاعات مختصر
عادی
تاريخ و ساعت مذاکره و دسترسي
1937.pdf
تاريخ و ساعت مذاکره و دسترسي
p90093.pdf
بيت در ثانيه
0
ارتباط براي تسهيلات دسترسي
ایمانی
نوع فرمت الکترونيکي
متن
اندازه فايل
0
شماره کنترل رکورد
پ ۱۹۳۷
يادداشت عمومي
فارسی
وضعیت فهرست نویسی
وضعیت فهرست نویسی
نمایه‌سازی قبلی
وضعیت انتشار
فرمت انتشار
pe
اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
TF
کد کاربرگه
92029
پیشوند ISBD اعمال شده است
1
اطلاعات دسترسی رکورد
سطح دسترسي
a
تكميل شده
Y
