عنوان

Dielectric films for advanced microelectronics

شابک

9780470013601 (hbk.)

کد کشور

IR

شماره

E-7135

زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن

انگلیسی

کشور محل نشر

IR

عنوان اصلي

Dielectric films for advanced microelectronics

نام عام مواد

[Book]

نام نخستين پديدآور

/ edited by Mikhail Baklanov, Martin Green, and Karen Maex

محل نشرو پخش و غیره

Chichester, England ;Hoboken, NJ

نام ناشر، پخش کننده و غيره

: John Wiley & Sons,

تاریخ نشرو بخش و غیره

, c2007.

نام خاص و کميت اثر

xxii, 486 p. , ill. , 26 cm.

عنوان فروست

(Wiley series in materials for electronic and optoelectronic applications.)

متن يادداشت

Print

متن يادداشت

Includes bibliographical references and index.

متن يادداشت

Low and ultralow dielectric constant films prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition /A. Grill --Spin-on dielectric materials /Geraud Dubois, Robert D. Miller, Willi Volksen --Positron annihilation spectroscopy /David W. Gidley, Hua-Gen Peng, Richard Vallery --Structure characterization of nanoporous interlevel dielectric thin films with-ray and neutron radiation /Christopher L. Soles ... [et al.] --Ellipsometric porosimetry /Mikhail R. Baklanov --Mechanical and transport properties of low-k dielectrics /J. L. Plawsky ... [et al.] --Integration of low-k dielectric films in damascene processes /R. J. O. M. Hoofman ... [et al.] --ONO structures and oxynitrides in modern microelectronics : material science, characterization and application /Yakov Roizin, Vladimir Gritsenko --Material engineering of high-k gate dielectrics /Akira Toriumi, Koji Kita --Physical characterization of ultra-thin high-k dielectric /T. Conard, H. Bender, W. Vandervorst --Electrical characterization of advanced gate dielectrics /Robin Degraeve ... [et al.] --Integration issues of high-k gate dielectrics /Yasuo Nara --Anisotropic conductive film (ACF) for advanced microelectronic interconnects /Yi Li, C. P. Wong.

موضوع مستند نشده

Dielectric films

موضوع مستند نشده

Microelectronics, Materials

شماره

شماره رده

نشانه اثر

مستند نام اشخاص تاييد نشده

Baklanov, Mikhail

مستند نام اشخاص تاييد نشده

Green, Martin

مستند نام اشخاص تاييد نشده

Maex, Karen

کشور

ایران

وضعیت فهرست نویسی

old catalog

فرمت انتشار

p

نوع ماده

BL

پیشوند ISBD اعمال شده است

1

سطح دسترسي

a

تكميل شده

Y