عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK7836 .M525 2007
TK7836
.
M525
2007
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
9780824790
شابک
0824790243
شماره کتابشناسی ملی
کد کشور
IR
شماره
EB10640
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
انگلیسی
کشور محل نشر یا تولید
کشور محل نشر
IR
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Microlithography
نام عام مواد
[Electronic Resource]
ساير اطلاعات عنواني
:science and technology
نام نخستين پديدآور
/ edited by Kazuaki Suzuki, Bruce W. Smith
وضعیت ویراست
وضعيت ويراست
2nd ed.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Boca Raton
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: CRC Press,
تاریخ نشرو بخش و غیره
, c2007.
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
848 p. ill. 27 cm.
فروست
عنوان فروست
(Optical science and engineering
مشخصه جلد
; 126)
یادداشتهای مربوط به نشر، بخش و غیره
متن يادداشت
e
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
ng
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index.
فروست (داده ارتباطی)
عنوان
Optical science and engineering (Boca Raton, Fla.)
شماره جلد
126
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Microlithography- Industrial applications
موضوع مستند نشده
Integrated circuits- Masks
موضوع مستند نشده
Metal oxide semiconductors, Complementary- Design and construction
موضوع مستند نشده
Manufacturing processes
رده بندی ديویی
شماره
621
.
3815
.
31
رده بندی کنگره
شماره رده
TK7836
نشانه اثر
.
M525
2007
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Suzuki, Kazuaki
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Smith, Bruce W.,1959-
مبدا اصلی
کشور
ایران
دسترسی و محل الکترونیکی
نام ميزبان
0824790243.pdf
شماره دسترسي
محرمانه
اطلاعات مختصر
محرمانه
تاريخ و ساعت مذاکره و دسترسي
0824790243.pdf
بيت در ثانيه
0
نوع فرمت الکترونيکي
متن
وضعیت فهرست نویسی
وضعیت فهرست نویسی
old catalog
وضعیت انتشار
فرمت انتشار
e
اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
BL
پیشوند ISBD اعمال شده است
1
اطلاعات دسترسی رکورد
سطح دسترسي
a
تكميل شده
Y
