عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7872 .M3 N3613
TK
7872
.
M3
N3613
کتابخانه
محل استقرار
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Nano-lithography
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
London, UK
محل نشرو پخش و غیره
Hoboken, NJ
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Wiley
نام ناشر، پخش کننده و غيره
ISTE
تاریخ نشرو بخش و غیره
c2011
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xxv, 325 p. : ill
يادداشت کلی
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index
یادداشتهای مربوط به عنوان و پدیدآور
متن يادداشت
edited by Stefan Landis
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
Ch. 1. X-ray lithography : fundamentals and applications -- ch. 2. NanoImprint lithography -- ch. 3. Lithography techniques using scanning probe microscopy -- ch. 4. Lithography and manipulation based on the optical properties of metal nanostructures -- ch. 5. Patterning with self-assembling block copolymers -- ch. 6. Metrology for lithography
عنوان قراردادی
عنوان قراردادي
Nanolithography
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
، Nanolithography
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
7872
.
M3
N3613
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
کد نقش
TI
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
AU Landis, Stefan
