Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
by Yafei Zhang, Da Chen.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Berlin, Heidelberg
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Springer Berlin Heidelberg
تاریخ نشرو بخش و غیره
2013
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
Introduction.- Propagation of Acoustic Wave in Crystals.- The Theory of FBAR.- The Sputtering Deposition and Etching of AlN Film.- The Membrane Structured FBAR.- Solidly Mounted Acoustic Resonator.- The Application of FBAR in RF Filters.- The FBAR Excited by Lateral Filed.- High Sensitive Sensors Based on FBAR.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Engineering.
موضوع مستند نشده
Surfaces (Physics)
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )