عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
9781441932211
شابک
9781475767759
شماره کتابشناسی ملی
شماره
dltt
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
The Physics of Micro/Nano-Fabrication
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
edited by Ivor Brodie, Julius J. Muray.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Boston, MA :
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Imprint: Springer,
تاریخ نشرو بخش و غیره
1992.
فروست
عنوان فروست
Microdevices, Physics and Fabrication Technologies
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
1. Preliminary Survey -- 2. Particle Beams: Sources, Optics, and Interactions -- 3. Plasmas: Physics and Chemistry -- 4. Layering Technologies -- 5. Pattern Generation -- 6. Microcharacterization -- 7. Limits to Nanofabrication -- Appendixes -- Author Index.
بدون عنوان
0
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.
ویراست دیگر از اثر در قالب دیگر رسانه
شماره استاندارد بين المللي کتاب و موسيقي
9781441932211
قطعه
عنوان
Springer eBooks
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Computer engineering.
موضوع مستند نشده
Crystallography.
موضوع مستند نشده
Optical materials.
موضوع مستند نشده
Physics.
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Brodie, Ivor.
نام شخص - (مسئولیت معنوی برابر )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Muray, Julius J.
نام تنالگان _ (مسئولیت معنوی برابر)
مستند نام تنالگان تاييد نشده
SpringerLink (Online service)
مبدا اصلی
تاريخ عمليات
20190307160900.0
دسترسی و محل الکترونیکی
نام الکترونيکي
مطالعه متن کتاب اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
[Book]
اطلاعات دسترسی رکورد
تكميل شده
Y
