عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7871.15 .P6 P635 1989
TK
7871
.
15
.
P6
P635
1989
کتابخانه
محل استقرار
شناسگر استاندارد دیگر
شماره استاندارد
57398
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
English
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Polymers in microlithography : materials and processes
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Washington, DC
نام ناشر، پخش کننده و غيره
American Chemical Society
تاریخ نشرو بخش و غیره
1989
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xii, 449 p. : ill. ; 24 cm
فروست
عنوان فروست
ACS symposium series, 7900-6516, 214
يادداشت کلی
متن يادداشت
Developed from a symposium sponsored by the Division of Polymeric Materials: Science and Engineering at the 197th national meeting of the American Chemical Society, Dallas, Texas, April 9-14, 1989
متن يادداشت
Includes bibliographical references
یادداشتهای مربوط به عنوان و پدیدآور
متن يادداشت
Elsa Reichmanis, editor, Scott A. MacDonald, editor, Takao Iwayanagi, editor
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
Congresses ، Polymers
عنصر شناسه ای
Congresses ، Photoresists
عنصر شناسه ای
Materials -- Congresses ، Microlithography
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
7871
.
15
.
P6
P635
1989
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
کد نقش
TI
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
AU aslE ,sinamhcieR ed. 1953-
عنصر شناسه اي
AU A ttocS ,dlanoDcaM ed.
عنصر شناسه اي
AU oakaT ,iganayawI ed. 1949-
عنصر شناسه اي
CO American Chemical Society, Division of Polymeric Materials: Science and Engineering
شماره دستیابی
نحوه قرار گرفتن مدرك روي قفسه
م‌س علو‌ه مرکزی پردی‌ان‌ابخ‌کت
