عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
QC718.5.D9 L54 ]CD[
QC718
.
5
.
D9
L54
]
CD
[
کتابخانه
محل استقرار
شناسگر استاندارد دیگر
شماره استاندارد
۱۷۶۸
عنوان و نام پديدآور
نام نخستين پديدآور
Lieberman, M. A. ) Michael A.(
عنوان اصلي
Principles of plasma discharges and materials processing]CD[
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
New York
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Wiley
تاریخ نشرو بخش و غیره
c1994
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xxvi, 572 p. : ill. ; 25 cm.
يادداشت کلی
متن يادداشت
"A Wiley-Interscience publication."
متن يادداشت
Includes bibliographical references )p. 559-564( and index
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
، Plasma dynamics
عنصر شناسه ای
Surfaces ، Thin films
عنصر شناسه ای
، Plasma etching
عنصر شناسه ای
، Plasma chemistry
رده بندی ديویی
شماره
530
.
4/4
رده بندی کنگره
شماره رده
QC718
.
5
.
D9
L54
]
CD
[
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
کد نقش
AU
عنصر شناسه اي
Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
AU J nallA ,grebnethciL
عنصر شناسه اي
TI
شماره دستیابی
نحوه قرار گرفتن مدرك روي قفسه
ش دیداری شنیداری‌بخ
