عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
کتابخانه
محل استقرار
شناسگر استاندارد دیگر
شماره استاندارد
11188
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium: : ]proceedings[
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
New York, NY
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Institute of Electrical and Electronics Engineers
تاریخ نشرو بخش و غیره
c1989-
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
v.: ill.; 28 cm
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
، Semiconductors- Design and construction- Congresses
عنصر شناسه ای
، Semiconductor industry- Production control- Congresses
عنصر شناسه ای
، Semiconductor industry- Management- Congresses
عنصر شناسه ای
، Process control- Congresses
رده بندی ديویی
شماره
621
.
3815
/2
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
7871
.
85
.
I26
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
کد نقش
AU
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
CO Institute of Electrical and Electronics Engineers
عنصر شناسه اي
CO Semiconductor Equipment and Materials International
عنصر شناسه اي
TI
عنصر شناسه اي
TI IEEE SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium
عنصر شناسه اي
TI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium
عنصر شناسه اي
TI Proceedings
عنصر شناسه اي
TI ISMSS International Semiconductor Manufacturing Science Symposium
عنصر شناسه اي
TI ISMSS proceedings
شناسه افزوده (تنالگان)
عنصر شناسه اي
IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium
