عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK 7874 .W67 1989
TK
7874
.
W67
1989
کتابخانه
محل استقرار
شناسگر استاندارد دیگر
شماره استاندارد
119893
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
بها‌ر۹۷
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
English
عنوان و نام پديدآور
نام عام مواد
)40(
عنوان اصلي
Microlithography: high integration in microelectronics: proceedings of the First Workshop, Rio de Janeiro, Brazil, Aug. 28-Sept. 1, 1989
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Singapore
نام ناشر، پخش کننده و غيره
World Scientific
تاریخ نشرو بخش و غیره
1990
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
viii, 184 p.: ill.; 22 cm
يادداشت کلی
متن يادداشت
Includes bibliographical references
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
Congresses ، Microlithography
عنصر شناسه ای
Congresses ، Integrated circuits-- Very large scale integration-- Design and construction
عنصر شناسه ای
Congresses ، Photoresists
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
7874
.
W67
1989
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
کد نقش
AU
عنصر شناسه اي
editors: Aldo Craievich, G. Gerson Bezerra de Souza, Vitor Baranauskas
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
AU odlA ,hciveiarC
عنصر شناسه اي
AU ed arrezeB nosreG .G ,azuoS
عنصر شناسه اي
AU rotiV ,saksuanaraB
عنصر شناسه اي
TI
شناسه افزوده (تنالگان)
عنصر شناسه اي
Workshop "Microlithography: High Integration in Microelectronics" )1st: 1989: Rio de Janeiro, Brazil(
شماره دستیابی
نحوه قرار گرفتن مدرك روي قفسه
04
