Ion implantation: equipment & techniques: proceedings of the Fifth International Conference on Ion Implantation Equipment & Techniques, Smugglers 'Notch, Jeffersonville VT. USA. July 23-27, 1984
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Amsterdam
نام ناشر، پخش کننده و غيره
North-Holland
تاریخ نشرو بخش و غیره
1985
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xiv, 457 p. ill.; 27 cm
فروست
عنوان فروست
Nuclear instruments & methods in physics research. Section b, Beam interactions with
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
، Ion implantation-- Congresses
عنصر شناسه ای
، semiconductor doping-- Congresses
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
7871
.
85
.
I578
1984
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
کد نقش
AU
عنصر شناسه اي
editors, J. F. Ziegler, R. L. Brown
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
AU (.F semaJ) .F .J ,relgeiZ
عنصر شناسه اي
AU L .R ,nworB
عنصر شناسه اي
TI
عنصر شناسه اي
SE
شناسه افزوده (تنالگان)
عنصر شناسه اي
International Conference on Ion Implantation: Equipment and Techniques )5th: 1984: Jefferson-ville, Vt.(