عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
{1648},9c488c4561591938b2cce328b15baf2c
{
1648
},
9c488c4561591938b2cce328b15baf2c
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
3527312463
اطلاعات محلی رکورد
نوع مدرک
English Book
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Micro process engineering
ساير اطلاعات عنواني
fundamentals, devices, fabrication, and applications
نام نخستين پديدآور
volume editor : Norbert Kockmann
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Weinheim
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Wiley-VCH
تاریخ نشرو بخش و غیره
2006
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xxii, 507 p. ill
فروست
عنوان فروست
Advanced micro & nanosystems ;vol. 5
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
Production engineering
عنصر شناسه ای
Microtechnology
