بررسی و تنظیم شرایط رسوب لایه نازک ITO در سلول خورشیدی سیلیکن آمورف
نام نخستين پديدآور
/ مریم شکیبا
وضعیت نشر و پخش و غیره
نام ناشر، پخش کننده و غيره
: دانشگاه شهیدچمران اهواز، دانشکده مهندسی، گروه برق
تاریخ نشرو بخش و غیره
، ۱۳۹۵
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
۱۹۰ص.
مواد همراه اثر
+همراه سی دی
یادداشتهای مربوط به پایان نامه ها
جزئيات پايان نامه و نوع درجه آن
دکتری تخصصی
نظم درجات
مهندسی برق (الکترونیک)
زمان اعطا مدرک
۱۳۹۵/۱۱/۲۱
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
نام خانوادگی: شکیبانام: مریمشماره دانشجویی: 9041907 عنوان پایان نامه: بررسی و تنظیم شرایط رسوب لایه نازک ITO در سلول خورشیدی سیلیکن آمورفاستاد راهنما: دکتر عبدالنبی کوثریاناستاد مشاور: دکتر ابراهیم فرشیدیدرجه تحصیلی: دکتری رشته: برقگرایش: الکترونیکدانشگاه: شهید چمران اهوازدانشکده: مهندسیگروه: برقتاریخ فارغ التحصیلی: 21/11/95 تعداد صفحه: 190کلید واژه¬ها: لایه نازک ITO، سیستم کندوپاش مگنترونی واکنشی مستقیم، توان کندو پاش، فشار کاری، فاصله الکترودها، فلوی جزئی گاز هیدروژن، خصوصیات ساختاری و اُپتوالکتریکی.هدف از این تحقیق، بهبود خصوصیات الکتریکی و اپتیکی لایه نازک ITO به منظور ساخت کنتاکت شفاف سلول خورشیدی سیلیکن آمورف است. بدین منظور، برای قریب به 200 نمونه، شرایط رسوب لایه¬های نازک به روش کندوپاش مگنترونی DC، به کمک ماده هدف ITO، روی زیرلایه شیشه و بدون اعمال حرارت به زیرلایه از طریق منبع خارجی بهبود داده شد. پیش از انجام آزمایشات تجربی، شبیه-سازی پلاسمای آرگون به کمک نرم¬افزار XPDP1، و همچنین شبیه¬سازی فرآیند رسوب در سیستم کندوپاش واکنشی مستقیم، به کمک نرم¬افزارRSD2013، به منظور کسب اطلاعات اولیه از رفتار پلاسمای سیستم کندوپاش، انجام شد. در ادامه، با استفاده از آزمایشات تجربی، بررسی دقیق و گسترده¬ای در رابطه با اثر پارامترهای مختلف از جمله فشار رسوب، فاصله الکترودها، توان رسوب و حضور گاز واکنشی هیدروژن در پلاسمای آرگون، بر خصوصیات لایه نازک ITO انجام شد. در شرایطی که زمان لایه¬نشانی برای همه نمونه¬ها برابر 10 دقیقه در نظر گرفته شده، لایه¬های نازک تهیه شده از نقطه نظر خصوصیات میکروساختاری و اُپتوالکتریکی مورد بررسی قرار گرفتند. در این راستا از سیستم¬های آنالیز XRD، AFM، طیف¬سنجی فرابنفش-مرئی، پروب چهار میله و PL استفاده گردید. طبق نتایج به دست آمده، در صورتی¬که پلاسمای رسوب مخلوط Ar/H2 باشد، نمونه رسوب یافته در توان W 100 ، فشار کاری mTorr 25، فاصله الکترودها برابر با cm 7 =L و در شرایطی که از فلوی جزئی هیدروژن با پروفیل یکنواخت و برابر با sccm 0.1، استفاده شود، دارای کمترین مقاومت ورقه¬ای برابر با 8.34، مقدار متوسط عبوردهی نوری برابر با 81.6% و بیشترین شاخص کیفیت هاک برابر با 3-10×15.7 است.