TY - BOOK A1 - / volume editor : Norbert Kockmann TI - Micro process engineering PB - کتابخانه مرکزی، مرکز اسناد و تامین منابع علمی دانشگاه صنعتی سهند SN - 93579917 UR /book/93579917/Micro-process-engineering/ ER -