TY - BOOK A1 - volume editor, Norbert Kockmann TI - Micro process engineering: fundamentals, devices, fabrication, and applications PB - کتابخانه مرکزی و مرکز اطلاع رسانی دانشگاه فردوسی مشهد SN - 77812156 UR /book/77812156/Micro-process-engineering-fundamentals-devices/ ER -