نمایش منو
صفحه اصلی
جستجوی پیشرفته
فهرست کتابخانه ها
انتخاب زبان
فارسی
English
العربی
عنوان
Plasma etching : fundamentals and applications
پدید آورنده
Sugawara, Minoru
موضوع
Etching ، Semiconductors,، Plasma etching
رده
TK
7871
.
85
.
S9
کتابخانه
کتابخانه پژوهشگاه دانشهای بنیادی
محل استقرار
استان:
تهران
ـ شهر:
تهران
تماس با کتابخانه :
22291812
-
021
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Plasma etching : fundamentals and applications
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
New York
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Oxford Univ.
تاریخ نشرو بخش و غیره
c1988
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
viii, 347 p.: ill )some col.(; tables
فروست
ساير اطلاعات عنواني
Series on semiconductor science and technology; 7
يادداشت کلی
متن يادداشت
Includes bibliographies
متن يادداشت
ISBN 019856287X
یادداشتهای مربوط به عنوان و پدیدآور
متن يادداشت
M. Sugawara; with contributions from Bary L. Stonsfield...]et al.
یادداشت های مربوط به نسخه اصلی
متن يادداشت
1
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
Etching ، Semiconductors
عنصر شناسه ای
، Plasma etching
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
7871
.
85
.
S9
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
عنصر شناسه اي
Sugawara, Minoru
کد نقش
AU
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
AU Stansfield, Barry L.
عنصر شناسه اي
TI
عنصر شناسه اي
SE
پیشنهاد / گزارش اشکال
×
پیشنهاد / گزارش اشکال
×
اخطار!
اطلاعات را با دقت وارد کنید
گزارش خطا
پیشنهاد