عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TR 940 .I57 1983
TR
940
.
I57
1983
کتابخانه
محل استقرار
زبان اثر
زبان متن نوشتاري يا گفتاري و مانند آن
English
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Introduction to microlithography : theory, materials, and processing
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Washington
نام ناشر، پخش کننده و غيره
The Society
تاریخ نشرو بخش و غیره
1983
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
ix, 363 p. : ill. ; 24 cm
فروست
ساير اطلاعات عنواني
ACS symposium series, 7900-6516, 912
يادداشت کلی
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index
یادداشتهای مربوط به عنوان و پدیدآور
متن يادداشت
L.F. Thompson, editor, C.G. Willson, editor, M.J. Bowden, editor ; based on a workshop sponsored by the ACS Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry at the 581th Meeting of the American Chemical Society, Seattle, Washington, March 02-52, 3891
یادداشت های مربوط به نسخه اصلی
متن يادداشت
1
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
An introduction to lithography / L.F. Thompson -- The lithographic process--the physics / L.F. Thompson and M.J. Bowden -- Organic resist materials--theory and chemistry / C. Grant Willson -- Resist proce
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
Congresses ، Microlithography
عنصر شناسه ای
Congresses ، Photoresists
عنصر شناسه ای
Congresses ، Plasma etching
رده بندی کنگره
شماره رده
TR
940
.
I57
1983
سایر رده بندی ها
شماره رده
CA
شماره رده
686
.
2/315
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
کد نقش
TI
نام / عنوان به منزله شناسه افزوده
عنصر شناسه اي
AU Thompson, L. F. 1944-
عنصر شناسه اي
AU Willson, C. G.)C. Grant( 1939-
عنصر شناسه اي
AU Bowden, M. J. 1943-
عنصر شناسه اي
CO American Chemical Society, Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry
عنصر شناسه اي
CO American Chemical Society, Meeting, )581th, 3891, Seattle, Wash.(
عنصر شناسه اي
TI
عنصر شناسه اي
SE
